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纯水防静电装置简介
纯水防静电装置,又称co2 bubbler(二氧化碳发泡机),去离子水电阻率调节装置,加碳机等等。其原理是向高电阻率的纯水中添加二氧化碳,在水中产生适量的离子增强纯水的导电性,降低纯水的电阻率,防止在划片制程、清洗等半导体加工过程中产生静电损伤产品,消除硅屑的静电吸附便于清洗干净,最后烘干后二氧化碳挥发不残留任何杂质,不造成二次污染

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现场工作图照片

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纯水防静电装置

由深圳超纯环保公司生产的纯水防静电设备,电阻率在0.15-2.0MΩ·cm之间自由设定,最大产水量达1200、2400升/小时,可一对一、一拖多模式稳定运行,各项技术参数均不低于、并超过国际国内同类产品,得到用户广泛好评。经过我公司技术人员努力攻关,该产品的核心技术目前已由我公司获得了国家专利局授予的专利权,我们拥有该类产品核心技术的自主知识产权。在其他性能不低于同类产品的同时,从10年专业水处理的角度出发,我公司设备独有于其他品牌同类产品的优势还在于:1,纯机械静态方式工作,故障率极低;2,采用最先进透气膜方式以及无需空气切入,产水品质完全超越同类产品。

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超纯水防静电装置主要技术参数:

生产车间